集成電路ic等離子表面處理機(jī)技術(shù)：誠峰智造

真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-8L-S

名稱（Name）

真空式等離子處理系統(tǒng)

型號(hào)（Model）

CRF-VPO-8L-S

控制系統(tǒng)（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz,3kw

中頻電源功率（MF Power）

600W/13.56MHz

容量（Volume）

80L（Option）

層數(shù)（Electrode of plies）

8（Option）

有效處理面積（Area）

400（L）*300（W）（Option）

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選： Ar、N2、CF4、O2

產(chǎn)品特點(diǎn)：大處理空間，提升處理產(chǎn)能，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，有效控制設(shè)備運(yùn)行。

可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求。

保養(yǎng)維修成本低，便于客戶成本控制。

高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和*的技術(shù)支持。

應(yīng)用范圍：主要適用于生物醫(yī)療行業(yè)，印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。

采用真空電漿清洗機(jī)處理線路板的工藝、時(shí)間和處理方案可以節(jié)約成本，通過射頻電源在一定壓力下對(duì)表面進(jìn)行升輝，從而產(chǎn)生高能等離體，然后對(duì)表面進(jìn)行等離子轟擊，產(chǎn)生微觀上剝離效應(yīng)。
將等離子體用于線路板(FPC/PCB)預(yù)粘接前的表面清洗。一般情況下，線路板下游客戶會(huì)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行來料檢驗(yàn)，例如打線檢驗(yàn)、拉力檢驗(yàn)等等，而當(dāng)產(chǎn)品表面未清洗時(shí)，往往會(huì)出現(xiàn)某些污染，導(dǎo)致檢驗(yàn)不合格。為了避免上述問題，在焊接打線之前進(jìn)行表面等離子清洗，在這個(gè)追求高質(zhì)量的年代已經(jīng)成為一種趨勢(shì)。
利用射頻電源在一定壓力下在真空電漿清洗機(jī)真空腔內(nèi)產(chǎn)生高能等離體，然后利用等離子體轟擊加工對(duì)象面，產(chǎn)生顯微上剝離效應(yīng)(調(diào)整等離子轟擊時(shí)間可調(diào)整剝離深度，等離子的作用是納米級(jí)的，因此不會(huì)損傷加工物體)，從而達(dá)到作業(yè)目的。
板材產(chǎn)品要求：
1、產(chǎn)品材質(zhì)：FPC，上部有粘黃膠；
2、達(dá)因值達(dá)34↑；
3、處理時(shí)效性達(dá)到1周↑；
4、采用吸塑盒子進(jìn)行出貨前處理，吸塑盒子應(yīng)無靜電及變形等不良現(xiàn)象。
經(jīng)等離子處理的線路板的效果：
1、處理前達(dá)因值：32達(dá)因筆↓，處理后達(dá)因筆達(dá)到70↑；
2、處理前接觸角度達(dá)到80度，處理后接觸角度達(dá)到10度；
3處理時(shí)間：60S(時(shí)間可以重新優(yōu)化)；
4、氣體：氧氣。

產(chǎn)品時(shí)效影響因素：
由于真空電漿清洗機(jī)等離子處理有化學(xué)和物理變化的特點(diǎn)。物理化學(xué)變化，是指材料表面改性、蝕刻后表面突起增大，表面積增大。如暴露于受污染的空氣中，與灰塵、油污、雜質(zhì)混合，表面能量會(huì)逐漸降低。等離子處理時(shí)，化學(xué)變化會(huì)引入含氧極性的基團(tuán)，如羥基、羧基等，這些活性分子具有時(shí)效性，易與其他物質(zhì)發(fā)生化學(xué)變化，處理后表面能保留的時(shí)間很難確定。氣體、功率、處理時(shí)間、放置環(huán)境等因素對(duì)材料表面時(shí)效性均有影響。清潔FPC產(chǎn)品后驗(yàn)證的時(shí)間為：1周(通過接觸角測(cè)量數(shù)據(jù)確認(rèn)，接觸角值越小，達(dá)因值越高)