隨著我國電子產品制造業(yè)的飛速發(fā)展，用于生產集成電路芯片和液晶顯示器面板等高精度電子產品的潔凈廠房相繼建造。由于高精度電子產品的成品率和可靠性很大程度上取決于制造環(huán)境的潔凈程度和物理環(huán)境，因此電子工業(yè)潔凈廠房對其潔凈度和溫濕度等關鍵參數的要求越來越嚴格。ＧＢ５０４７２—２００８《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》要求根據電子工業(yè)潔凈廠房不同潔凈度級別，其潔凈度檢測長時間間隔為６個月（空氣潔凈度１～５級）或１年（空氣潔凈度６～９級）；截面風速、換氣次數、溫濕度和噪聲等參數檢測時間間隔不過１２個月。筆者依據ＧＢ５０４７２—２００８和ＧＢ５０５９１—２０１０《潔凈室施工及驗收規(guī)范》相關要求，對電子工業(yè)潔凈廠房潔凈區(qū)的潔凈度、截面風速、換氣次數和溫濕度等重要參數檢測方法和要點進行梳理分析，以期為相關從業(yè)人員提供參考。電子工業(yè)潔凈廠房潔凈區(qū)型式與關鍵檢測參數根據電子工業(yè)潔凈廠房潔凈區(qū)生產的電子產品工藝特點、空氣潔凈度等級和工藝生產流程要求可分為隧道式、開放式和微環(huán)境式等，也可按照氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。通常情況下，考慮節(jié)約能源、減少初投資和降低運行費用等因素，ＧＢ５０４７２—２００８提出“各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度要求嚴格時，宜采用微環(huán)境等型式”。

所示為檢測的一典型電子工業(yè)潔凈廠房平面圖。通常電子工業(yè)潔凈廠房從入口處依次為非潔凈區(qū)的一次更衣區(qū)、男／女更衣室、緩沖室，之后進入潔凈區(qū)范圍。根據不同工藝要求，廠房內可設置多個不同潔凈度級別，相鄰的不同潔凈區(qū)之間設置一定壓力梯度，保證高級別潔凈度房間不被低級別潔凈度房間污染。ＧＢ５０４７２—２００８的３.２.１條提出電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈區(qū)空氣潔凈度等級應按照ＧＢ５００７３—２０１３《潔凈廠房設計規(guī)范》執(zhí)行。fjaosijfoiaew:namespace prefix = "o" ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:office" />

潔凈度、截面風速與換氣次數、溫／濕度與噪聲、照度是潔凈區(qū)（室）凈化空調系統關鍵檢測參數。合理設計相關參數檢測次序對檢測工作效率和結果有重要影響。通過對大量電子工業(yè)廠房潔凈區(qū)（室）凈化空調系統檢測工作的結，建議采取的檢測次序為先檢測截面風速（或換氣次數），其次檢測潔凈度，再檢測噪聲與溫／濕度，而照度的檢測可穿插于任何一個檢測過程中。

江蘇南通如東縣第三方凈化室潔凈度檢測：