隨著我國電子產(chǎn)品制造業(yè)的飛速發(fā)展，用于生產(chǎn)集成電路芯片和液晶顯示器面板等高精度電子產(chǎn)品的潔凈廠房相繼建造。由于高精度電子產(chǎn)品的成品率和可靠性很大程度上取決于制造環(huán)境的潔凈程度和物理環(huán)境，因此電子工業(yè)潔凈廠房對其潔凈度和溫濕度等關(guān)鍵參數(shù)的要求越來越嚴(yán)格。ＧＢ５０４７２—２００８《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》要求根據(jù)電子工業(yè)潔凈廠房不同潔凈度級別，其潔凈度檢測長時間間隔為６個月（空氣潔凈度１～５級）或１年（空氣潔凈度６～９級）；截面風(fēng)速、換氣次數(shù)、溫濕度和噪聲等參數(shù)檢測時間間隔不過１２個月。筆者依據(jù)ＧＢ５０４７２—２００８和ＧＢ５０５９１—２０１０《潔凈室施工及驗收規(guī)范》相關(guān)要求，對電子工業(yè)潔凈廠房潔凈區(qū)的潔凈度、截面風(fēng)速、換氣次數(shù)和溫濕度等重要參數(shù)檢測方法和要點進行梳理分析，以期為相關(guān)從業(yè)人員提供參考。電子工業(yè)潔凈廠房潔凈區(qū)型式與關(guān)鍵檢測參數(shù)根據(jù)電子工業(yè)潔凈廠房潔凈區(qū)生產(chǎn)的電子產(chǎn)品工藝特點、空氣潔凈度等級和工藝生產(chǎn)流程要求可分為隧道式、開放式和微環(huán)境式等，也可按照氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。通常情況下，考慮節(jié)約能源、減少初投資和降低運行費用等因素，ＧＢ５０４７２—２００８提出“各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度要求嚴(yán)格時，宜采用微環(huán)境等型式”。

所示為檢測的一典型電子工業(yè)潔凈廠房平面圖。通常電子工業(yè)潔凈廠房從入口處依次為非潔凈區(qū)的一次更衣區(qū)、男／女更衣室、緩沖室，之后進入潔凈區(qū)范圍。根據(jù)不同工藝要求，廠房內(nèi)可設(shè)置多個不同潔凈度級別，相鄰的不同潔凈區(qū)之間設(shè)置一定壓力梯度，保證高級別潔凈度房間不被低級別潔凈度房間污染。ＧＢ５０４７２—２００８的３.２.１條提出電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈區(qū)空氣潔凈度等級應(yīng)按照ＧＢ５００７３—２０１３《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》執(zhí)行。fjaosijfoiaew:namespace prefix = "o" ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:office" />

潔凈度、截面風(fēng)速與換氣次數(shù)、溫／濕度與噪聲、照度是潔凈區(qū)（室）凈化空調(diào)系統(tǒng)關(guān)鍵檢測參數(shù)。合理設(shè)計相關(guān)參數(shù)檢測次序?qū)z測工作效率和結(jié)果有重要影響。通過對大量電子工業(yè)廠房潔凈區(qū)（室）凈化空調(diào)系統(tǒng)檢測工作的結(jié)，建議采取的檢測次序為先檢測截面風(fēng)速（或換氣次數(shù)），其次檢測潔凈度，再檢測噪聲與溫／濕度，而照度的檢測可穿插于任何一個檢測過程中。

江蘇常州戚墅堰區(qū)第三方電纜廠潔凈車間檢測：