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主要參數
MPT-3JN/RL010
MPT-3JN/RL025
MPT-3JN/RL050
運動自由度
Z,θx,θy
轉角范圍(mrad±10%)
± 0.4
± 0.8
± 1.0
位移范圍(μm±10%)
10
25
50
位移分辨率(nm)
0.2
0.4
0.5
重復定位精度(nm)
-/2
-/4
-/5
角位移分辨率(μrad)
0.8
1
角重復定位精度(μrad)
-/8
-/10
大負載(Kg)
固有頻率(Hz)
1000
800
重量(g±5%)
250
400
550
工作電壓(V)
0-150
工作溫度范圍(℃)
-20～80
外型尺寸 A
60
80
100
外型尺寸 B
外型尺寸 C（mm）
40
開環(huán)工作臺匹配電源型號：HPV-3C0150A0500 ;閉環(huán)工作臺匹配電源型號：PPC-2CR0150
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主要參數
MPT-3JN/RL010
MPT-3JN/RL025
MPT-3JN/RL050
運動自由度
Z,θx,θy
Z,θx,θy
Z,θx,θy
轉角范圍(mrad±10%)
± 0.4
± 0.8
± 1.0
位移范圍(μm±10%)
10
25
50
位移分辨率(nm)
0.2
0.4
0.5
重復定位精度(nm)
-/2
-/4
-/5
角位移分辨率(μrad)
0.4
0.8
1
角重復定位精度(μrad)
-/4
-/8
-/10
大負載(Kg)
0.5
0.5
0.5
固有頻率(Hz)
1000
1000
800
重量(g±5%)
250
400
550
工作電壓(V)
0-150
0-150
0-150
工作溫度范圍(℃)
-20～80
-20～80
-20～80
外型尺寸 A
60
80
100
外型尺寸 B
50
50
50
外型尺寸 C（mm）
40
40
40
開環(huán)工作臺匹配電源型號：HPV-3C0150A0500 ;閉環(huán)工作臺匹配電源型號：PPC-2CR0150