MPT-1UN/RL010

MPT-1UN/RL025

MPT-1UN/RL050

MPT-1UN/RL100

運(yùn)動(dòng)自由度

X

X

X

X

行程范圍（μ m±10%）

10

25

50

100

位移分辨率（nm）

1

2.5

5

10

重復(fù)定位精度（nm）

-/10

-/25

-/50

-/100

大負(fù)載（Kg）

1

1

1

1

靜電容量（μ F±10%）

4

6

4

6

運(yùn)動(dòng)方向上剛度（N/μm）

90

45

0.5

0.2

工作電壓（V）

0～150

0～150

0～150

0～150

工作溫度范圍 (℃ )

-20 ～ 80

-20 ～ 80

-20 ～ 80

-20 ～ 80

外形尺寸A×B×C（mm）

30×45×45

45×45×45

30×45×45

30×60×45