C50型氣體質(zhì)量流量控制器和C50M型氣體質(zhì)量流量計采用毛細鋼管傳熱和溫差量熱原理測量氣體的質(zhì)量流量,其中質(zhì)量流量控制器可以對氣體的質(zhì)量流量進行的控制。由于溫差量熱只和氣體的質(zhì)量流量相關(guān),所以氣體的溫度和壓力變化不會影響到測量值。
本型號產(chǎn)品的滿量程可以在 5SCCM到 30SLM的范圍內(nèi)任意定制,性能,價格適中。
±1%F.S.的準確度
±0.2%F.S.的高重復(fù)精度
響應(yīng)時間快
穩(wěn)定性和可靠性高
滿量程可以在 5SCCM到 30SLM的范圍內(nèi)任意定制
可應(yīng)用于大多數(shù)腐蝕性氣體
同類產(chǎn)品尺寸小
安裝尺寸國際兼容
真空鍍膜設(shè)備
微反應(yīng)裝置
晶體制備設(shè)備
混氣配氣設(shè)備
燃燒測試設(shè)備
氣相色譜儀及其它分析儀器
氣體:氮氣(N2)
溫度和壓力: 溫度—273.15 K(0℃)
氣壓—101325 Pa(760mm Hg)
主要技術(shù)參數(shù)
基本型號 |
C50 |
C50M |
流量規(guī)格 eq oac(○,1)1(N2) |
0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM |
|
0~1,2,3,5,10,20,30 SLM |
||
調(diào)節(jié)閥類型 |
常閉式 |
無 |
量程比 |
(2~100)%F.S. 或50:1 |
|
流量分辨率 |
0.1%F.S. |
|
準確度 |
±1%F.S. (≤15SLM) |
|
±2%F.S. (>15SLM) |
||
線性 |
±0.5%F.S. (≤15SLM) |
|
±2%F.S. (>15SLM) |
||
重復(fù)精度 |
±0.2%F.S. |
|
響應(yīng)時間 |
≤2sec |
≤1sec |
工作壓差范圍 |
0.1~0.5MPa (≤10SLM) |
0.02MPa~3MPa |
0.1~0.3MPa (>10SLM) |
||
大耐壓 |
3MPa |
|
工作環(huán)境溫度 |
5~45℃ |
|
電纜接頭 |
DB15pin(針形) |
|
輸入輸出信號 |
0~+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ,輸出電流不大于3mA) |
0~+5.00V (無輸入信號,輸出電流不大于3mA) |
供電電源要求 |
+15VDC(50mA),-15VDC(200mA) |
+15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
對外單點泄漏率 |
≤1×10-9Pa·m3/S(He) |
|
介質(zhì)接觸材質(zhì) |
316,316L,密封填料 |
|
密封材料 |
丁腈橡膠NBR,三元乙丙橡膠EPDM,氯丁橡膠CR,硅橡膠VMQ, |
|
管道接頭尺寸 |
VCR型接頭:1/4” |
|
雙卡套型接頭:1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm |
||
外形尺寸 |
長×寬×高:127×30×100 mm |
|
凈重量 |
0.88kg |
0.72kg |
注 eq oac(○,1)1:滿量程流量不限于表中列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM~30SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。
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