一、膜厚儀產品組成：

（1）測試主機

（2）光纖

（3）校正件

（4）測量頭

（5）夾持裝置

（6）手提電腦

（7）設備箱

二、膜厚儀產品特點：

（1）采用光譜干涉原理進行測量，具有非接觸、無破壞、快速等特點；

（2）可在真空環(huán)境使用；

（3）可與大行程工件臺配合，實現(xiàn)大面積膜厚自動測量；

三、主要技術指標：

（1）測量范圍（VIS）：15nm—100μm    

（2）測量重復性（RMS）：0.086nm    

（3）測量*精度（與橢偏儀對比）：0.25nm    

（4）測量層數：大于3層；

（5）使用光源：鹵素燈；    

（6）入射角度：90°    

（7）測試材料：透明或半透明薄膜材料；    

（8）光斑尺寸：20μm—3mm（可選）    

（9）測量時間：100ms—4ms

（10）通信接口：USB2.0    

武漢月憶神湖科技有限公司簡稱“武漢月憶"，是大陸的一家創(chuàng)*科技公司，部位于九省通衢-湖北武漢。

主營實驗室儀器、試劑耗材等，旨在為半導體芯片制造、MEMS、鈣鈦礦太陽能電池以及微流體芯片制造等領域的廣大科研工作者提供*的解決方案和性能優(yōu)異的產品，在儀器儀表－實驗儀器裝置行業(yè)獲得廣大客戶的認可。

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