型號(hào)

l 3020

實(shí)際測(cè)量尺寸

l 300*200*180(mm)

測(cè)量精度

（3+L/200）μm

外形尺寸（mm）

580*680*980

整機(jī)重量

240kg

機(jī)械本體

底座，立柱：三軸花崗巖主體結(jié)構(gòu)，物理性能穩(wěn)定

l S

導(dǎo)軌：   FY-V平行精密滾珠交叉導(dǎo)軌

l 

光柵尺：SINPO閉合式光柵尺，分辨率1μm

l 

Z軸驅(qū)動(dòng)方式：  精密伺服Z軸自動(dòng)對(duì)焦

光學(xué)系統(tǒng)

  CCD

?？低暩咚俟饫w工業(yè)數(shù)字高解析相機(jī)

（不需搭載視頻卡 使成像更清晰）

l 

鏡頭

普密斯6.5：1可變倍鏡頭

l 

表面光

五環(huán)8區(qū)LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào)

l 

輪廓光

LED冷光源，256級(jí)亮度可調(diào)

軸承配件

日本NSK高速軸承

日本NSK高速軸承

限位開(kāi)關(guān)件

日本歐姆龍點(diǎn)限位開(kāi)關(guān)

日本歐姆龍點(diǎn)限位開(kāi)關(guān)

聯(lián)軸器

日本米思米聯(lián)軸器

日本米思米聯(lián)軸器

軟件系統(tǒng)

多語(yǔ)言zonson智能自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)

0. 1微米分辨率三軸DC300解析系統(tǒng)

附件

保養(yǎng)手冊(cè)

出廠檢驗(yàn)報(bào)告

1微米分辨率校準(zhǔn)片

各適用連接線