測(cè)量項(xiàng)目

粗糙度 部分
Ra,Rz=Ry(JIS),Rq,Rt=Rmax,Rp,Rv,R3z,R3y,RzJIS,Rs,Rsk,Rku,Rsm,Rmr

輪廓儀 部分
點(diǎn)、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離等）、*點(diǎn)、*低點(diǎn)、距離、角度處理（坐標(biāo)夾角、直線夾角）、直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度（對(duì)數(shù)曲線）、輪廓度等參數(shù)

粗糙度 測(cè)量范圍

X軸
RA：0.005μm—16.00μm

Z1軸
±20μm、±40μm、±80μm

取 樣 長(zhǎng) 度 L
0.25mm、0.80mm、2.50mm、自動(dòng)

評(píng) 定 長(zhǎng) 度
1L—5L(可選 L為取樣長(zhǎng)度)

測(cè)量行程長(zhǎng)度
3L—7L(可選 L為取樣長(zhǎng)度)

輪廓儀 測(cè)量范圍

X軸（橫導(dǎo)軌）

100mm

Z1軸（傳感器）

15mm

Z軸（立柱）

400mm

粗糙度 測(cè)量精度

示值誤差 1
0.001μm

示值誤差 2
≤±7％

輪廓儀 測(cè)量精度

X軸
(L=X軸導(dǎo)軌移動(dòng)距離)
±(1.2+2L/100)μm

Z1軸
(H=Z1軸方向測(cè)量高度)
±(1.8+4H/100)μm
X軸水平臂

直線度
1.2μm/100mm

光柵分辨率
0.1μm

光柵產(chǎn)地
進(jìn)口
Z1軸傳感器

分辨率
0.2μm

傳感器類(lèi)型
光柵傳感器

產(chǎn)地
進(jìn)口

移動(dòng)方向
前/后 雙方向

測(cè)力
0.5-6g

測(cè)針針尖
硬質(zhì)合金 R：0.05mm、0.01mm

爬坡角度
上升77度 下降88度

驅(qū)動(dòng)行程

*驅(qū)動(dòng)行程長(zhǎng)度
17.5mm/0.71 inch

*小驅(qū)動(dòng)行程長(zhǎng)度
1.3mm/0.052 inch

測(cè)量速度

0.135mm/s、0. 5mm/s、1mm/s

測(cè)量速度
0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）

定位速度
0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定義）

圖形放大
可任意縮小、放大

綜合調(diào)整臺(tái)
X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30°

Y軸方向調(diào)整范圍：±7.5mm
Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置）

安裝要求

電源
220-240V  AC, 50HZ，單獨(dú)地線；*功率消耗450W

壓縮空氣
純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上）

環(huán)境要求
工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無(wú)結(jié)露），良好地線，無(wú)明顯振源