廣泛應用于企事業(yè)單位科研和小批量生產(chǎn)，以及?？蒲薪虒W中涉及到的陶瓷，冶金，電子，玻璃，化工，機械，耐火材料，新材料開發(fā)，特種材料，建材領域。為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD）， 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。管式爐采用高石英管或高純氧化鋁剛玉管作為爐管，爐管設計有平置安裝，。溫區(qū)設計有單溫區(qū)，雙溫區(qū)，三溫區(qū)，五溫區(qū)等。

1、數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5至 1125Torr.不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

2、內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量。

3、氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%。

4、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。

5、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入。