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使用注意事項(xiàng)Edwards nEXT機(jī)械渦輪分子泵
使用注意事項(xiàng)Edwards nEXT機(jī)械渦輪分子泵
渦輪分子泵是多級(jí)軸流式渦輪機(jī),其中,高速旋轉(zhuǎn)葉片通過增加氣體沿泵送方向移動(dòng)的可能性來提供壓縮。渦輪分子泵針對分子流動(dòng)條件進(jìn)行了優(yōu)化,需要適當(dāng)尺寸的后備泵才能排放到大氣中。
nEXT渦輪分子泵建立在數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)基礎(chǔ)上,并取材自我們久經(jīng)考驗(yàn)且值得信賴的EXT和STP系列。nEXT泵具有*的性能,可靠性和*終用戶可維修性,為科學(xué)的渦輪分子泵樹立了。
nEXT范圍內(nèi)的*性能
愛德華茲nEXT240渦輪分子泵放大
現(xiàn)有的泵尺寸可提供真正的85、240、300、400,我們現(xiàn)在為nEXT系列(N2)增加了每秒700和900升的泵速性能。
常規(guī)的渦輪分子泵轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)成可提供高速或高壓縮率。為了消除這種折衷,已對nEXT轉(zhuǎn)子上的葉片布置進(jìn)行了完全重新設(shè)計(jì),以優(yōu)化泵的性能并實(shí)現(xiàn)更高的速度和更高的壓縮率。*終結(jié)果是其同等尺寸的泵具有*的泵送性能
工作原理:
羅茨泵(roots-type pump) 是一種無內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級(jí)泵。
靠泵腔內(nèi)一對葉形轉(zhuǎn)子同步、反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來移動(dòng)氣體而實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。
羅茨真空泵是指具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵,此泵不可以單獨(dú)抽氣,前級(jí)需配油封、水環(huán)等可直排大氣。
它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸,間隙一般為0.1~0.8毫米;不需要用油潤滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高,加工精度易于保證,故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450~4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30~10000升/秒(1升=10-3米3);極限真空:單級(jí)為6.5×10-2帕,雙級(jí)為1×10-3帕。
羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,v0空間與排氣側(cè)相通時(shí),由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內(nèi),有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動(dòng)比為1的一對齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙,可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。
主要特點(diǎn)
轉(zhuǎn)速高、容積效率高。
結(jié)構(gòu)簡單,操作、維護(hù)方便。
轉(zhuǎn)子被鎖緊,無軸向串動(dòng)現(xiàn)象。
采用高精度傳動(dòng)齒輪、SKF高精度軸承和良好的動(dòng)平衡,確保產(chǎn)品的噪聲低、運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。
采用平衡式不銹鋼機(jī)械密封,泵腔為無油結(jié)構(gòu),適用于抽除一般空氣及各種特殊氣體。
與其它機(jī)械真空泵比較,節(jié)能效果顯著。
可與各類前級(jí)泵配套,可廣泛應(yīng)用于各類工藝范圍。
1、Edwards愛德華EM 系列:(大型油封式真空泵)
E2M18, E2M28, E2M30, E2M40, E2M80, E2M175、 E2M275
2、Edwards愛德華RV 系列: (小型油封式真空泵):
RV3、 RV5、 RV8、 RV12
3、Edwards愛德華EV 系列: (單級(jí)旋片真空泵)
EV20、 EV40、 EV70、EV100、EV160、EV200、EV300、EV400、EV630
4、Edwards愛德華EH 系列: (羅茨真空泵)
EH250、EH500、EH1200, EH2600、EH4200
5、Edwards愛德華QMB 系列: (羅茨真空泵)
QMB-250、 QMB-500、QMB-1200
6、Edwards愛德華MB 系列: (羅茨真空泵)
MB 800、MB 1200, MB 2600、 MB 4200、MB 5700
7、Edwards愛德華HV 系列: (大型羅茨真空泵)
HV8000、HV14000、HV30000
8、Edwards愛德華XDS 系列: (渦卷干式真空泵)
XDS3、 XDS5、XDS10、XDS35、XDS46、XDS100
9、Edwards愛德華GV 系列: (大型工業(yè)干式真空泵--干式螺桿泵 )
GV80、 GV160、GV250、GV400、GV600
10、Edwards愛德華GXS 系列: (大型工業(yè)干式真空泵--干式螺桿泵 )
GXS160, GXS250、GXS160/1750、GXS250/2600、GXS450、GXS450/2600、GXS450/4200、
GXS750、GXS750/2600、GXS750/4200
11、Edwards愛德華QDP 系列: (半導(dǎo)體真空泵):
QDP40、QDP80
12、Edwards愛德華IQDP 系列: (半導(dǎo)體真空泵):
IQDP40、 IQDP80
13、Edwards愛德華IH 系列: (半導(dǎo)體真空泵)
IH80、IH160、IH600、IH1000、IH1800
14、Edwards愛德華IXH 系列: (半導(dǎo)體真空泵)
IXH100、IXH200、IXH200H, IXH500H, IXH500Q, IXH610、IXH645H, IXH1210, IXH1210H,IXH1220H。
使用注意事項(xiàng)Edwards nEXT機(jī)械渦輪分子泵