層流電子無(wú)塵車(chē)間環(huán)境檢測(cè)方法及流程-天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司

層流電子無(wú)塵車(chē)間環(huán)境檢測(cè)方法及流程--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司   因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電，會(huì)損壞CMOS集成度。一般來(lái)說(shuō)，電子車(chē)間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度應(yīng)控制在50-60之間（特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。此時(shí)，能有效消除靜電，讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路潔凈室和磁盤(pán)制造車(chē)間是電子制造潔凈室的重要組成部分。

在檢測(cè)電子潔凈廠房標(biāo)準(zhǔn)過(guò)程中，潔凈度是一項(xiàng)特別重要的關(guān)鍵因素。如果電子潔凈廠房潔凈度檢不合格，當(dāng)有部分潔凈度檢測(cè)不達(dá)標(biāo)，有的是部分局部空間，也有整個(gè)電子潔凈廠房工程。雖然可以通過(guò)整改、調(diào)試、清潔等，終達(dá)到了工藝生產(chǎn)的要求，但往往浪費(fèi)了大量的人力和物力，耽誤了工期、延誤了生產(chǎn)效率的進(jìn)程。往往有些原因和缺點(diǎn)在檢測(cè)前，是可以完全可以避免的。

電子無(wú)塵車(chē)間環(huán)境檢測(cè) 電子廠房潔凈室空氣潔凈度檢測(cè)項(xiàng)目：

關(guān)于它的管理規(guī)范如下：1、做好電子廠凈化工程中的環(huán)境衛(wèi)生監(jiān)測(cè)和管理方法，避免交叉污染環(huán)境，對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生關(guān)鍵影響，所以要定制無(wú)塵室清潔區(qū)處理技術(shù)衛(wèi)生系統(tǒng)。2、對(duì)于工作人員需要接受定期體檢并獲得健康證明之后才能進(jìn)行上班，而且以后每年需要進(jìn)行一次的體檢，如果出現(xiàn)體檢不合格的人員是要禁止在清潔區(qū)域進(jìn)行工作。

電子潔凈車(chē)間一般要求潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車(chē)間，主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(jí)（小于3.5個(gè)），1000級(jí)（小于35個(gè)），10000級(jí)（小于350個(gè)），100000級(jí)(小于3500個(gè))。  因?yàn)閮艋こ痰臋z測(cè)主要關(guān)注兩種粒徑，即0.5um和5um。等速采樣對(duì)≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計(jì)算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度，如果這些粒子不受等速條件的影響，則計(jì)算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對(duì)大于等于0.5um的顆粒有意義。

電子無(wú)塵車(chē)間環(huán)境檢測(cè)  千級(jí)無(wú)塵車(chē)間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是0.5微米的*容許粒子濃度小于35200（pc/m3),5微米的*容許粒子濃度小于2930(pc/m3)；百級(jí)車(chē)間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下?？梢钥闯鰸崈舳鹊燃?jí)越高的車(chē)間，標(biāo)準(zhǔn)也更高，要求車(chē)間內(nèi)的塵埃粒子數(shù)量更少，這樣無(wú)塵車(chē)間才能更潔凈。

10萬(wàn)級(jí)室內(nèi)空氣參數(shù)需求： 1.新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內(nèi)，人員比較多，能夠依據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的*值：非單向流潔凈室送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和堅(jiān)持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；確保室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3 /h。

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EGE開(kāi)關(guān)

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