項次

項目

具體參數(shù)

1

輸出項目

相位差【nm】，軸方向【°】，相位差與應(yīng)力換算（選配）【MPa】

2

測量波長

520nm

3

雙折射測量范圍

0-130nm

4

測量*小分辨率

0.001nm

5

測量重復(fù)精度

<1nm（西格瑪）

6

視野尺寸

142x170um到3.5x4.2mm
(×2，×5，×10，×20，×50)

7

選配鏡頭視野

無

8

選配功能

實時解析軟件，鏡片解析軟件，數(shù)據(jù)處理軟件，實現(xiàn)外部控制