OLS4500掃描探針顯微鏡-LEXT OLS4500探針掃描顯微鏡

LEXT OLS4500是一款集成了激光顯微鏡和探針掃描顯微鏡功能于一體的納米檢測(cè)顯微鏡，可以實(shí)現(xiàn)從50倍到高100萬(wàn)倍的大范圍的觀察和測(cè)量。

OLS4500掃描探針顯微鏡-LEXT OLS4500探針掃描顯微鏡

實(shí)現(xiàn)納米級(jí)觀測(cè)的顯微鏡。不會(huì)丟失鎖定的目標(biāo)。

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器切換倍率和觀察方法

配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡，并在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了SPM單元?？梢詿o(wú)縫切換倍率和觀察方法，不會(huì)丟失觀察對(duì)象。此外，該款顯微鏡可以進(jìn)行納米級(jí)觀測(cè)。

涵蓋了低倍到高倍觀察，并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象。

縮短從放置樣品到獲取影像的工作時(shí)間。

放置好樣品后，所有的操作都在1臺(tái)裝置上完成。可以迅速，正確的把觀察對(duì)象移到SPM顯微鏡下面，所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。

一體機(jī)的機(jī)型，所以無(wú)需重新放置樣品只要在1臺(tái)裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應(yīng)對(duì)新樣品。 

OLS4500是把光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機(jī)，所以無(wú)需重新放置樣品，即可自由切換3種顯微鏡進(jìn)行觀察和評(píng)價(jià)。這3種顯微鏡各自持有優(yōu)異的性能，所以能夠高效輸出佳結(jié)果。

OLS4500實(shí)現(xiàn)了無(wú)縫觀察和測(cè)量

【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象

使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法， 迅速找到觀察對(duì)象

OLS4500采用了白色LED光源， 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡， 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學(xué)觀察的特長(zhǎng)， 除了常使用的明視場(chǎng)觀察（BF）以外， 還可以使用對(duì)微小的凹凸添加明暗對(duì)比， 達(dá)到視覺(jué)立體效果的微分干涉觀察（DIC）， 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡(jiǎn)易偏振光觀察。此外， OLS4500上還配有HDR功能（高動(dòng)態(tài)范圍功能）， 該功能使用不同的曝光時(shí)間拍攝多張影像后進(jìn)行合成， 來(lái)顯示亮度平衡更好、強(qiáng)調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對(duì)象。

BF 明視場(chǎng)
常使用的觀察方法。在觀察中真實(shí)再現(xiàn)樣品的 
顏色。適用于觀察有明暗對(duì)比的樣品。

DIC 微分干涉
對(duì)于在明視場(chǎng)觀察中看不到的樣品的微小高低差， 
添加明暗對(duì)比使之變?yōu)榱Ⅲw可視。適用于觀察金 
相組織、硬盤和晶圓拋光表面之類鏡面上的傷痕 
或異物等。

簡(jiǎn)易偏振光
照射偏振光（有著特定振動(dòng)方向的光線）， 使樣 
品的偏光性變?yōu)槿庋劭梢?。適用于觀察金相組織、礦物、半導(dǎo)體材料等。

HDR 高動(dòng)態(tài)范圍
使用不同曝光時(shí)間拍攝多張影像并進(jìn)行影像合成， 
可以觀察平衡度較好的明亮部分和陰暗部分。此 
外，還可以強(qiáng)調(diào)紋理（表面狀態(tài)），進(jìn)行更精細(xì)的 
觀察。

使用激光顯微鏡，可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像

裝配了激光掃描顯微鏡，靈活應(yīng)對(duì)多種樣品

輕松檢測(cè)85°尖銳角

采用了有著高N.A. 的物鏡和光學(xué)系統(tǒng)（能大限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4500 可以地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。

LEXT 物鏡

有尖銳角的樣品（剃刀）

高度分辨率10 nm，輕松測(cè)量微小輪廓

由于采用405 nm的短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡， OLS4500達(dá)到了0.12 μm的平面分辨率。因此， 可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯獨(dú)有的亮度檢測(cè)技術(shù)， OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外， 激光顯微鏡測(cè)量還保證了測(cè)量?jī)x器的兩大指標(biāo)——“正確性”（測(cè)量值與真正值的接近程度）和“重復(fù)性”（多次測(cè)量值的偏差程度）的性能。

0.12μm行間距

高度差標(biāo)準(zhǔn)類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度測(cè)量中的檢測(cè)

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主機(jī) 規(guī)格

*該功能為選項(xiàng)功能。

物鏡 規(guī)格

微懸臂 規(guī)格

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