供應(yīng)AALBORG氣體質(zhì)量流量計   產(chǎn)品特點：高、響應(yīng)速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護、備量計數(shù)器   典型應(yīng)用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。   設(shè)計特點：   －剛性金屬結(jié)構(gòu)   －流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm   －*大壓力500psig（34.5Bar）   －泄漏率1＊10-7氦氣   －NIST系統(tǒng)可追蹤的證明   －可傾斜的LCD讀表   －0-5Vdc或4-20mA信號輸出   －電路保護   －可用作便攜式的設(shè)備   －0到**比例顯示   －可配備流量計算機   精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿量程（精度），在給定的溫度與壓力值條件下。   重復(fù)性：±0.5％滿量程   回應(yīng)時間：實際流速±2％過滿量程25-**一般2秒   溫度系數(shù)：0.15％滿量程／℃   壓力系數(shù)：0.01％滿量程／psi（0.07bar）   氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃）   輸出信號：0-5Vdc，**1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻   傳感器輸出：＋12Vdc；*大200Ω。＋24Vdc可選   時間恒量：800ms