使用注意事項Edwards nEXT機械渦輪分子泵

渦輪分子泵是多級軸流式渦輪機，其中，高速旋轉(zhuǎn)葉片通過增加氣體沿泵送方向移動的可能性來提供壓縮。渦輪分子泵針對分子流動條件進行了優(yōu)化，需要適當尺寸的后備泵才能排放到大氣中。   
nEXT渦輪分子泵建立在數(shù)十年的經(jīng)驗基礎(chǔ)上，并取材自我們久經(jīng)考驗且值得信賴的EXT和STP系列。nEXT泵具有*的性能，可靠性和*終用戶可維修性，為科學的渦輪分子泵樹立了。
nEXT范圍內(nèi)的*性能
愛德華茲nEXT240渦輪分子泵放大
現(xiàn)有的泵尺寸可提供真正的85、240、300、400，我們現(xiàn)在為nEXT系列（N2）增加了每秒700和900升的泵速性能。
常規(guī)的渦輪分子泵轉(zhuǎn)子設(shè)計成可提供高速或高壓縮率。為了消除這種折衷，已對nEXT轉(zhuǎn)子上的葉片布置進行了完全重新設(shè)計，以優(yōu)化泵的性能并實現(xiàn)更高的速度和更高的壓縮率。*終結(jié)果是其同等尺寸的泵具有*的泵送性能
工作原理：

羅茨泵(roots-type pump) 是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。
靠泵腔內(nèi)一對葉形轉(zhuǎn)子同步、反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來移動氣體而實現(xiàn)抽氣的真空泵。
羅茨真空泵是指具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。
它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風機相似，工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達3450～4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：單級為6.5×10-2帕，雙級為1×10-3帕。
羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時，由于排氣側(cè)氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行。

主要特點
轉(zhuǎn)速高、容積效率高。
結(jié)構(gòu)簡單，操作、維護方便。
轉(zhuǎn)子被鎖緊，無軸向串動現(xiàn)象。
采用高精度傳動齒輪、SKF高精度軸承和良好的動平衡，確保產(chǎn)品的噪聲低、運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。
采用平衡式不銹鋼機械密封，泵腔為無油結(jié)構(gòu)，適用于抽除一般空氣及各種特殊氣體。
與其它機械真空泵比較，節(jié)能效果顯著。
可與各類前級泵配套，可廣泛應用于各類工藝范圍。

1、Edwards愛德華EM 系列：（大型油封式真空泵）
E2M18，  E2M28，  E2M30， E2M40，  E2M80， E2M175、 E2M275
2、Edwards愛德華RV 系列： (小型油封式真空泵)：
RV3、 RV5、 RV8、 RV12
3、Edwards愛德華EV 系列： (單級旋片真空泵)
EV20、 EV40、 EV70、EV100、EV160、EV200、EV300、EV400、EV630
4、Edwards愛德華EH 系列： (羅茨真空泵)
EH250、EH500、EH1200， EH2600、EH4200
5、Edwards愛德華QMB 系列： (羅茨真空泵)
QMB-250、 QMB-500、QMB-1200
6、Edwards愛德華MB 系列： (羅茨真空泵)
MB 800、MB 1200， MB 2600、 MB 4200、MB 5700
7、Edwards愛德華HV 系列： (大型羅茨真空泵)
HV8000、HV14000、HV30000
8、Edwards愛德華XDS 系列： (渦卷干式真空泵)
XDS3、 XDS5、XDS10、XDS35、XDS46、XDS100
9、Edwards愛德華GV 系列： (大型工業(yè)干式真空泵--干式螺桿泵 )
GV80、 GV160、GV250、GV400、GV600
10、Edwards愛德華GXS 系列： (大型工業(yè)干式真空泵--干式螺桿泵 )
GXS160， GXS250、GXS160/1750、GXS250/2600、GXS450、GXS450/2600、GXS450/4200、
GXS750、GXS750/2600、GXS750/4200
11、Edwards愛德華QDP 系列： (半導體真空泵)：
QDP40、QDP80
12、Edwards愛德華IQDP 系列： (半導體真空泵)：
IQDP40、 IQDP80
13、Edwards愛德華IH 系列： (半導體真空泵)
IH80、IH160、IH600、IH1000、IH1800
14、Edwards愛德華IXH 系列： (半導體真空泵)
IXH100、IXH200、IXH200H， IXH500H， IXH500Q， IXH610、IXH645H， IXH1210， IXH1210H，IXH1220H。

使用注意事項Edwards nEXT機械渦輪分子泵